真空蒸镀装置基本过程如下

　蒸发镀膜的基本过程如下：关闭充气阀和高真空阀等阀门，通过机械泵对钟罩进行预抽气；当压强达到1~10Pa后，关闭低真空阀，打开高真空阀，通过扩散泵和机械泵串联对钟罩进行抽气；一旦钟罩内的压强达到所需要的数值后，便可以对蒸发源加热进行蒸镀；蒸镀完毕后，关闭高真空阀，通道充气阀向钟罩内放气；然后打开钟罩，取出蒸镀好的基片或工件。重新装入膜料，更换待镀基片或工件，放下钟罩，可以重复以上步骤，再次进行蒸镀。 

    真空蒸镀设备主要由真空镀膜室和抽真空系统两大部分组成。真空镀膜室是用不锈钢或玻璃制成的钟罩，室内装有蒸发电极、基片架、轰击电极、测温和烘烤电极、挡板转动装置、膜厚监控测量头和一些辅助装置等。不锈钢制钟罩上一般开有几个观察窗，大口径的钟罩还装有冷却水装置。钟罩上的针阀供离子轰击时调节室内所需要的压强，亦可作为镀膜室内的充气调节阀。不锈钢钟罩可升降。膜材放在与蒸发电极相连的蒸发源上，基片或工件放在基片架上。 

　　真空抽气系统主要由扩散泵、手械泵、高真空阀、低真空阀、充气阀及挡油板等组成。机械泵与低真空电磁阀互锁，防止机械泵返油。高真空阀与电磁充气阀互锁，防止因高真空阀未关而充人大气时处于高温状态的扩散泵油氧化。扩散泵断水有报警信号，测量真空度用复合真空计。真空抽气机组可使镀膜室内的压强达到10一3~10一6Pa范围，以防镀膜室内高温物体的燃烧和膜的氧化等。 

　　实际的蒸镀过程包括如下步骤：基材表面清洁一蒸发源加热镀膜材料一镀膜材料蒸发(或升华)一真空室内形成饱和蒸气一蒸气在基材表面凝聚、沉积成膜。