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真空蒸镀装置基本过程如下

作者:cying  更新日期:2016/3/21 9:49:08  点击:

真空蒸镀装置基本过程如下

 蒸发镀膜的基本过程如下:关闭充气阀和高真空阀等阀门,通过机械泵对钟罩进行预抽气;当压强达到1~10Pa后,关闭低真空阀,打开高真空阀,通过扩散泵和机械泵串联对钟罩进行抽气;一旦钟罩内的压强达到所需要的数值后,便可以对蒸发源加热进行蒸镀;蒸镀完毕后,关闭高真空阀,通道充气阀向钟罩内放气;然后打开钟罩,取出蒸镀好的基片或工件。重新装入膜料,更换待镀基片或工件,放下钟罩,可以重复以上步骤,再次进行蒸镀。 

 

    真空蒸镀设备主要由真空镀膜室和抽真空系统两大部分组成。真空镀膜室是用不锈钢或玻璃制成的钟罩,室内装有蒸发电极、基片架、轰击电极、测温和烘烤电极、挡板转动装置、膜厚监控测量头和一些辅助装置等。不锈钢制钟罩上一般开有几个观察窗,大口径的钟罩还装有冷却水装置。钟罩上的针阀供离子轰击时调节室内所需要的压强,亦可作为镀膜室内的充气调节阀。不锈钢钟罩可升降。膜材放在与蒸发电极相连的蒸发源上,基片或工件放在基片架上。 

 

  真空抽气系统主要由扩散泵、手械泵、高真空阀、低真空阀、充气阀及挡油板等组成。机械泵与低真空电磁阀互锁,防止机械泵返油。高真空阀与电磁充气阀互锁,防止因高真空阀未关而充人大气时处于高温状态的扩散泵油氧化。扩散泵断水有报警信号,测量真空度用复合真空计。真空抽气机组可使镀膜室内的压强达到103~106Pa范围,以防镀膜室内高温物体的燃烧和膜的氧化等。 

  实际的蒸镀过程包括如下步骤:基材表面清洁一蒸发源加热镀膜材料一镀膜材料蒸发(或升华)一真空室内形成饱和蒸气一蒸气在基材表面凝聚、沉积成膜。 

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